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ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料(光学薄膜材料)、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

TEL. 075-721-5555

〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地

DRIEエッチングDRIE Etching

DRIEエッチング

高アスペクト比垂直エッチング加工
高アスペクト比垂直エッチング   
RIEエッチングにてウェハーのエッチング加工を承ります。

高アスペクト比(アスペクト比:100まで対応)の垂直エッチングが可能です。
また、スキャロップレス対応も可能です。
対応ウェハーサイズ
〜8インチ
少量の試作から量産まで承ります。
SOI基板、ガラス、SiC基板のエッチングも承ります。
円柱状エッチング加工
円柱状エッチング加工
※左の写真は、上がDRIEエッチングによる垂直エッチングの電子顕微鏡写真です。アスペクト比の高さと側壁の荒れの無さにご注目下さい。
下の写真もDRIEエッチングによるエッチング加工の電子顕微鏡写真ですが、こちらは円柱部分を残して他の部分をエッチングによって除去したものです。

他にもRIEドライエッチング、イオンミリング、ウエットエッチング(KOH,TMAH)といったエッチング加工を承っております。

MEMS材料/MEMS受託加工サービス

バナースペース

ヤマナカヒューテック株式会社

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京都市左京区下鴨松原町29番地

TEL 075-721-5555
FAX 075-721-5549


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