TEL. 075-721-5555
〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地
高アスペクト比垂直エッチング |
RIEエッチングにてウェハーのエッチング加工を承ります。 高アスペクト比(アスペクト比:100まで対応)の垂直エッチングが可能です。 また、スキャロップレス対応も可能です。 |
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・ | 対応ウェハーサイズ 〜8インチ |
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・ | 少量の試作から量産まで承ります。 | |
・ | SOI基板、ガラス、SiC基板のエッチングも承ります。 | |
円柱状エッチング加工 |
※左の写真は、上がDRIEエッチングによる垂直エッチングの電子顕微鏡写真です。アスペクト比の高さと側壁の荒れの無さにご注目下さい。 下の写真もDRIEエッチングによるエッチング加工の電子顕微鏡写真ですが、こちらは円柱部分を残して他の部分をエッチングによって除去したものです。 他にもRIEドライエッチング、イオンミリング、ウエットエッチング(KOH,TMAH)といったエッチング加工を承っております。 |
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