本文へスキップ

ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料(光学薄膜材料)、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

TEL. 075-721-5555

〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地

加圧接合(直接接合)Pressurizing bonding technology

加圧接合(直接接合)

加圧接合(直接接合)受託サービスから装置販売、メンテナンスを含めトータルにサポート致します。
加圧接合(直接接合)装置

「シリコン直接接合」や「ポリマー接合」、「メタル接合」も可能!

陽極接合同様、当社クリーンルームでのお客様立会い接合、条件出し、装置販売までトータルにサポート致します。

酸化膜付ウェハー(SOI)の接合も可能であり、当社IRボイド検査器にて、その場で基板接合状態の確認が可能!

<加圧(直接)接合装置・受託サービスの特徴>
〜6インチまで対応可能 面内均一な加圧により、加圧時の基板破損がありません
最大3tまでの加圧が可能 スペーサー引抜機構により、接合面が真空雰囲気中での接合を実現!
真空度-5pa台、Max900℃を実現! シリコン同士の接合に際し、ビデオキャプチャー式の専用アライメント装置も持ちあわせております
装置内部イメージ ビデオキャプチャー式アライメント装置
装置内部イメージ ビデオキャプチャー式アライメント装置

MEMS材料/MEMS受託加工サービス

バナースペース

ヤマナカヒューテック株式会社

〒606-0804
京都市左京区下鴨松原町29番地

TEL 075-721-5555
FAX 075-721-5549