ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料（光学薄膜材料）、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。
TEL. 075-721-5555
〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地
その他MEMS加工MEMS foundry others
その他MEMS加工
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シリコンウェハーやガラス基板にマイクロブラスト加工や超音波加工、ダイシング加工を行っております。 |
| 特にマイクロブラスト加工に注力しており、貫通穴チッピングを低減する技術開発や、研磨を取り入れることにより、電極取り出し技術に貢献してまいります。 | |
| マイクロ流路、マイクロレンズ向けなどにガラス基板へのエッチング加工も承ります。 | |
| 貫通電極取り出し加工 | その他、UBMバンプ形成も可能です。 |
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ガラスキャビティー加工（エッチング）と同時にストッパー形成が可能。 貼り合わせるSi重りとの貼付防止が可能。 |
| ガラスキャビティー加工 |
