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ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料(光学薄膜材料)、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

TEL. 075-721-5555

〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地

温度検出ウェハー(特許出願中)A temperature wafer for exclusive use of the Anodic bonding

温度検出ウェハー(特許出願中)

陽極接合専用の温度モニターウェハーです。
陽極接合技術の応用により、プロセスでの実デバイス温度測定を実現!!
ヒーター温度面内均一性を素早く確認!!

温度検出ウェハー外観

熱電対埋め込み部(拡大)

陽極接合装置の定期メンテナンスに最適
上下2層それぞれに熱電対を埋設することにより、接合プロセスと同じ状況での温度モニターを可能にしました。
熱電対を埋設し配線部をSiとガラスで挟み込み陽極接合するため、シンプルな形状加工に成功しました。

温度検出ウェハー概略図

温度検出ウェハー断面図

【 仕 様 】
サイズ:4〜6インチまで対応可能
測定温度点数:5点+5点=10点
使用温度範囲:室温〜600℃
熱電対:TYPE K
熱電対精度:JISクラス 2 相当
 333℃未満:±2.5℃、333℃以上:測定温度の±0.75%

MEMS材料/MEMS受託加工サービス

バナースペース

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