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ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料(光学薄膜材料)、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

TEL. 075-721-5555

〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地

陽極接合装置販売・接合受託サービスAnodic bonding

陽極接合装置販売・接合受託サービス

陽極接合とは可動イオンを含むガラスとシリコンウェハーや金属等を密着接合する加工方法です。
重ね合わせた基板を加熱してガラス側を軟化させ、 同時にシリコン側を陽極として両者の間に高電圧を付加することにより電気的二重層を発生させ、静電引力により基板を接合します。
真空雰囲気/大気雰囲気どちらも対応可能。サイズ:〜6インチ、アライメント精度±5μm以下
最近ではAl,Crのようなメタルとガラスを陽極接合するニーズも高まっております。
直接接合・・・シリコン同士の接合も可能。赤外線ボイド検査にて気泡の有無も確認致します。
陽極接合装置

陽極接合受託サービスから装置販売メンテナンスを含めトータルにサポート致します。
・当社クリーンルーム内でお客様立会いによる条件出し、試作加工が可能
・また、条件出し完了後には「お客様ご要望を反映したカスタマイズな装置製作、販売」を行います!
・装置搬入後はスムーズな装置立上げが可能となります!







<陽極接合装置・受託サービスの特徴>
・特殊ヒーターにより従来の金属製ヒーターと比較して昇温、冷却がスムーズに行えます。
・また、熱均一性に優れておりますのでボイドが少なく面内均一な接合が可能となります。
・お客様による材料持込、洗浄、立会い接合にも喜んでご対応致します。
・豊富な接合実績により「どんな基板でも接合(?)」致します。
・各お客様と事前にNDA締結を行いますので「秘密漏洩」の心配はございません。
・条件出し完了後、お客様毎のご希望を反映させた装置作製販売を行います。
・アライメント装置も販売しておりますので、併せてご相談下さい!

 装置内部  チャンバー内部  ビデオキャプチャー式アライメント装置
 装置内部 チャンバー内部  ビデオキャプチャー式
アライメント装置 

MEMS材料/MEMS受託加工サービス

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