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ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料(光学薄膜材料)、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

TEL. 075-721-5555

〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地

SOIウェハー仕様(例)SOI Wafer

SOIウェハー仕様(例)

SOIウェハー仕様例の一覧表です。この表にないSOI基板の仕様でも対応可能な場合がありますので、お気軽にご相談ください。
ウェハー径 基板厚さ(μm) 活性層厚さ(μm) 中間酸化膜(BOX層)
厚さ(μm)
4インチ  525 8.0  1.00 
525 7.0 3.00
5インチ  500 100.0 1.00
400 10.0 1.00
6インチ  400 50.0 1.00
625 10.0 0.50


シリコンウェハー&ウェハー関連サービス

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ヤマナカヒューテック株式会社

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FAX 075-721-5549


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