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ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料(光学薄膜材料)、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

TEL. 075-721-5555

〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地

膜付シリコンウェハーSilicon wafer with thin film

膜付シリコンウェハー

 膜付シリコンウェハー_1  酸化膜、TEOS膜、SiN膜、金属膜(W, Ti/TiN, Al, Cu)、レジスト、ポリシリコン膜など様々な膜を付けたシリコンウェハーを取り扱っております。
 
シリコンウェハーへの成膜方法はPE-CVD(プラズマCVD)、LP-CVD(減圧CVD)といったCVD法に加え、スパッタリングやEB蒸着も行っております。
 膜付シリコンウェハー_02 膜付シリコンウェハーの例
・φ4インチ:Ti/Al膜 膜厚500nm
・φ6インチ:SiN膜  膜厚500nm
・φ8インチ:TEOS膜 膜厚500nm
・φ12インチ:酸化膜 膜厚500nm
 など

上記仕様は一例です。
それ以外の成膜仕様でも、お気軽にご相談ください。

シリコンウェハー&ウェハー関連サービス

バナースペース

ヤマナカヒューテック株式会社

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京都市左京区下鴨松原町29番地

TEL 075-721-5555
FAX 075-721-5549


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