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ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料(光学薄膜材料)、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

TEL. 075-721-5555

〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地

サービス/製品一覧SERVICE & PRODUCTS

サービス/製品一覧

MEMS受託加工サービス/MEMS材料

「MEMS材料/MEMS受託加工サービス」

MEMSファンドリーサービスを提供する他、弊社独自のMEMS用基板(Y'sウェハー)等のMEMS材料を販売しています。
ファンドリーサービスでは半導体・センサ・プロセス技術を応用したMEMSデバイス受託加工に対応しております。特に基板接合技術開発に注力しており、陽極接合をはじめ共晶接合、シリコン直接接合、ポリマー接合(SB接合)を核として事業展開しております。


シリコンウェハー関連

「シリコンウェハー&ウェハー関連サービス」

プライムウェハーや熱酸化膜付ウェハーなど各種の基板販売からシリコンウェハーへの加工まで承っております。
加工では、お客様ご支給のシリコンウェハーに再生加工、B/G加工、成膜、ダイシングなど様々な加工サービスを提供いたします。



CVD材料・ALD材料・拡散材料

「CVD材料・ALD材料・拡散材料 等」

半導体製造プロセスで使用されるCVD材料、拡散材料及び光ファイバー材料等を製造販売しております。
TEOS製造では国内最大の生産設備を持ち、世界各地の半導体メーカーへ安定供給しております。

TEOS/HMDS/HMDSO/POCl3/BBr3/SiCl4/4MS(テトラメチルシラン)等


PVDプロセス材料&パーツ

「PVD材料&パーツ」

光学薄膜・機能性薄膜の形成に用いられるPVDプロセスのための蒸着材料・光学薄膜材料、スパッタリングターゲット及びプロセス周辺部材・消耗品などを幅広く販売しております。

真空蒸着材料(光学薄膜材料)/スパッタリングターゲット/高融点材料パーツ/膜厚測定パーツ/その他



金属化合物材料

「塩化ガリウム、酸化ガリウム等(金属化合物)」

希少金属でもあるGa系材料などの塩化物・酸化物をはじめ、あらゆる金属錯体をお客様のニーズに合った形で提供できる様、日々取り組んでおります。

GaCl3/Ga2O3/等






研究開発/支援ビジネス

「研究開発」

昨今、地球温暖化や世界規模のエネルギー問題を背景に簡便な製造プロセスにより作製が可能な有機半導体材料を用いた有機トランジスタや有機ELといった有機エレクトロニクスが注目を集めています。当社では機能性材料の作製から材料評価に至るまでのあるゆる場面で研究開発のサポートを展開します。

バナースペース

ヤマナカヒューテック株式会社

〒606-0804
京都市左京区下鴨松原町29番地

TEL 075-721-5555
FAX 075-721-5549