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ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料(光学薄膜材料)、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

TEL. 075-721-5555

〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地

CVD材料・ALD材料・拡散材料 等CVD materials & ALD materials & Diffusion materials

CVD材料・ALD材料・拡散材料・パワーデバイス用材料・レジスト用材料

半導体製造プロセスで使用されるCVD材料・ALD材料・拡散材料、光ファイバー材料、パワーデバイス用材料、レジスト用材料、等の高純度材料を製造販売しております。
TEOS製造では国内最大の生産設備を持ち、世界各地の半導体メーカーへ安定供給しております。
日本で最初の拡散材料メーカーであり、卓越した実績と歴史を持っています。

CVD材料:Al配線保護膜・層間絶縁膜材料
      Low-K膜・ガスバリア膜材料

拡散材料・光ファイバー材料・DLC材料等

TEOS,
TEPO,TMPO,TEB,
TMPI,TMB,
HMDS,
HMDSO,
他、TMOSなど
CVD材料 POCl3/BBr3
SiCl4
その他
拡散材料

ALD材料:層間絶縁膜材料

パワーデバイス用材料:Ga系材料

 
レジスト用材料


受託開発・受託作業

 

受託開発/洗浄作業/精製作業/受託分析/
薬品混合/小分け作業/その他 
工場
八木工場 


バナースペース

ヤマナカヒューテック株式会社

〒606-0804
京都市左京区下鴨松原町29番地

TEL 075-721-5555
FAX 075-721-5549