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PVD材料&パーツ

光学薄膜・機能性薄膜の形成に用いられるPVDプロセスのための蒸着材料・光学薄膜材料、スパッタリングターゲット、及びプロセス周辺部材・消耗品などを幅広く販売しております。

お客さまの求める薄膜形成に必要とされる最適な材料選択、成膜環境構築に当社の確かな実績と豊富なネットワークでお応えいたします。

真空蒸着材料(光学薄膜材料)・スパッタリングターゲット

酸化物材料・フッ化物材料・メタル材料・その他

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焼結ペレット材料(脱ガスタイプ)・スパッタリングターゲット

高融点材料パーツ(W,Mo,C,etc)

ハースライナー・抵抗加熱ボート・フィラメント・イオンガン用グリッド電極

膜厚測定パーツ

モニタガラス・水晶振動子

その他

薄膜剥離剤、基材洗浄剤・薄膜剥離 受託・装置内治具堆積膜剥離再溶射 受託・真空ポンプ等メンテナンス・各種光学膜/機能膜/金属膜 成膜受託