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〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地
Y'sウェハー(ワイズ ウェハー)独自の貼り合わせ技術による高付加価値の基板をご提案いたします。<主な特徴> ・BOX層(酸化膜層)は全く新しい絶縁層 ・貼り合わせ温度が400℃以下の為、貼り合わせ後の基板反りが非常に小さい ・BOX層0.5μm〜厚膜40μm以上(開発中)が可能 ・BOX層をパターニングしてから貼り合わせが可能 ・MEMS分野以外にパワーデバイスその他の用途にも好適 ・1枚毎の貼り合わせが可能なため、研究開発用途にも好適 ・貼り合わせのみでも対応可能(ウェハーご支給下さい) ・短納期での対応が可能 ・貼り合わせ後のデバイス層研磨やICPドライエッチング加工も可能 ※掲載写真3枚:Y's Waferの実例 6インチY's Wafer ICPエッチング加工 デバイス層70μm、BOX層3μm、 電極50μm幅、ギャップ15μm 確実なエッチストップ性 ノッチフリー対応可能 |
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