ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料（光学薄膜材料）、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

陽極接合専用の温度モニターウェハーです。
陽極接合技術の応用により、プロセスでの実デバイス温度測定を実現！！
ヒーター温度面内均一性を素早く確認！！





陽極接合装置の定期メンテナンスに最適
上下2層それぞれに熱電対を埋設することにより、接合プロセスと同じ状況での温度モニターを可能にしました。
熱電対を埋設し配線部をSiとガラスで挟み込み陽極接合するため、シンプルな形状加工に成功しました。





【 仕 様 】
サイズ：4〜6インチまで対応可能
測定温度点数：5点＋5点＝10点
使用温度範囲：室温〜600℃
熱電対：TYPE K
熱電対精度：JISクラス 2 相当
　333℃未満：±2.5℃、333℃以上：測定温度の±0.75%