ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料（光学薄膜材料）、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

SOI、シリコンウェハーの内部観察が可能
MEMS、ICチップなど半導体デバイスの内部観察も可能

		ボイド観察写真 （ボイドあり）
		ボイド観察写真 （ボイドなし）

【 原 理 】
近赤外に感度のある高分解能、高感度、高S／Nを特徴とするカメラを使用し、シリコンウェハーやICチップ、MEMSなどの半導体デバイスの内部を観察するシステムです。
ウェハー全面観察タイプSOIなどの貼り合わせウェハーのボイド観察やキズなどの内部欠陥観察に適しています。
赤外顕微鏡タイプIC内部のメタル配線、ワイヤボンディング、ダイボンディングなどの観察に適しています。

シリコンを透過する赤外光を利用しウェハー内部、IC内部を観察

【 仕 様 】
● 近赤外デジタルCCDカメラ		● ソフトウェア機能
	有効画素数：1000(H)×1000(V) 100万画素		カメラ制御
	フレームレート：30Hz		LUTコントロールによるコントラスト強調
	冷却方式：ペルチェ冷却・強制空冷		ランダムノイズ除去
	冷却温度：-20℃		リアルタイムマスク処理による画像改善
	露光時間：5ms〜10s		バックグラウンド減算によるノイズ除去
	A/Dコンバータ：12bit出力		2点間の実寸換算距離表示
	ビニング機能：2×2、4×4、8×8		角度測定表示
	消費電力：約20W		画像ファイル保存形式：TIFF、BMP
			対応OS：Windows XP Professional