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ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料(光学薄膜材料)、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。
ヤマナカヒューテック株式会社
TEL.
075-721-5555
〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地
SOIウェハー仕様(例)
SOI Wafer
SOIウェハー仕様(例)
SOIウェハー仕様例の一覧表です。この表にないSOI基板の仕様でも対応可能な場合がありますので、お気軽にご相談ください。
ウェハー径
基板厚さ(μm)
活性層厚さ(μm)
中間酸化膜(BOX層)
厚さ(μm)
4インチ
525
8.0
1.00
525
7.0
3.00
5インチ
500
100.0
1.00
400
10.0
1.00
6インチ
400
50.0
1.00
625
10.0
0.50
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ヤマナカヒューテック株式会社
〒606-0804
京都市左京区下鴨松原町29番地
TEL 075-721-5555
FAX 075-721-5549