TEL. 075-721-5555
〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地
極薄-極厚シリコンウェハー |
膜付シリコンウェハー |
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厚み:Min50μm(両面ミラー) 精度:厚み、平坦度 数μm仕上げ 極薄だけでなく、厚さ数mmの極厚にも対応いたします。 |
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表面に各種薄膜を成膜した基板です。 膜種:酸化膜、TEOS膜、SiN膜、金属膜(W,Ti/TiN,Al,Cu)、レジスト、ポリ、他 |
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プライムウェハー |
シリコンウェハーの研磨・研削 |
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取扱いサイズ:φ2〜12インチ 面方位<110><111>、オフアングル付や両面ミラー仕上げ、最先端向けのφ300mmなど各種対応いたします。 その他角板等、特殊形状も可。 |
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再生加工の他、バックグラインド(B/G)加工・ポリッシュ加工(バンプ付も研磨可)といった研磨・研削加工サービスを提供しております。 | |
その他特殊品 |
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SOIウェハー[SOI基板(φ4インチ、φ6インチ)]、SOI基板研磨 各種特殊基板 GaAs:φ2〜4インチ、GaP,InP,GaSb:φ2〜3インチ Ge基板、SiC基板、シリコンチップ 加工サービス ダイシング加工、サイズダウン加工 その他 ウェハーカセットケース |
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FAX 075-721-5549