各蒸着材料（光学薄膜材料）の特性
| 品名 | 和名 | 英語名 | 屈折率 （550nm近辺） |
蒸発方法 | 理論密度 （g/cm3） |
使用波長域 | 蒸発温度 （℃） |
融点 （℃） |
CAS NO. |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Al2O3 | 酸化アルミニウム | Aluminium oxide | 1.63 | EB | 4.0 | 0.2～7μm | 2,050 | 2,015 | 1344-28-1 |
| CeO2 | 酸化セリウム（IV） | Cerium(IV) oxide | 2 | EB | 7.3 | 0.4～16μm | 2,000 | 1,950 | 1306-38-3 |
| Cr2O3 | 酸化クロム（III）（別名：三二酸化クロム） | Chromium (III) oxide (Cr2O3) | ― | EB抵抗加熱 | 5.21 | ― | 2,000 | 1,990 | 1308-38-9 |
| HfO2 | 酸化ハフニウム | Hafnium dioxide | 1.95 | EB | 9.68 | 0.22～12μm | ― | 2,812 | 12055-23-1 |
| La2O3 | 酸化ランタン［別名：酸化ランタン（III）］ | Lanthanum oxide (La2O3) | 1.9 | EB抵抗加熱 | 6.51 | 0.3μm～ | 1,500 | 2,000 | 1312-81-8 |
| MgO | 酸化マグネシウム | Magnesium oxide | 1.74 | EB | 3.65 | 0.2～8μm | 2,800 | 2,800 | 1309-48-4 |
| Nb2O5 | 五酸化二ニオブ（別名：酸化ニオブ） | Diniobium pentaoxide ［別名：Niobium oxide (Nb2O5)］ |
2.3 | EB | 4.47 | 0.32～8μm | ― | 1,520 | 1313-96-8 |
| NiO | 酸化ニッケル（III）（別名：酸化ニッケル） | Nickel monoxide［別名：Nickel oxide (NiO)］ | ― | EB | 6.96 | ― | ― | 1,998 | 1313-99-1 |
| SiO2 | 二酸化ケイ素 （別名：シリカ） |
Silicon dioxide （別名：Silica） |
1.46 | EB | 2.2 | 0.2～8μm | 2,000 | 1,600 | 7631-86-9 |
| Ta2O5 | 酸化タンタル | Ditantalum pentaoxide［別名：Tantalum oxide (Ta2O5)］ | 2.1 | EB | 8.73 | 0.4～10μm | 2,100 | 1,469 | 1314-61-0 |
| TiO2 | 二酸化チタン［別名：酸化チタン（IV）］ | Titanium dioxide | 2.3～2.55 | EB | 4.26 | 0.4～3μm | 2,000 | 1,640 | 13463-67-7 |
| Ti3O5 | 酸化チタン（Ti3O5） | Titanium oxide (Ti3O5) | 2.3～2.55 | EB | 4.26 | 0.4～3μm | 2,000 | 1,640 | 12065-65-5 |
| Y2O3 | 酸化イットリウム | Yttrium oxide | 1.87 | EB | 4.84 | 0.3～12μm | 2,400 | 2,410 | 1314-36-9 |
| WO3 | 酸化タングステン （別名：三酸化タングステン） |
Tungsten oxide (WO3) | ― | ― | 7.15 | ― | ― | 1,473 | 1314-35-8 |
| ZnO | 酸化亜鉛 | Zinc oxide | 2.1 | 抵抗加熱 | 5.47 | 0.4μm～ | 1,100 | 1,800 | 1314-13-2 |
| ZrO2 | 酸化ジルコニウム（IV） | Zirconium(IV) oxide（別名：Zirconium oxide） | 2.05 | EB | 5.56 | 0.34～12μm | 2,700 | 2,677 | 1314-23-4 |
| ZrO2+TiO2 | 酸化ジルコニウムと二酸化チタンの混合物 | ― | 2.1 | EB | 4.0 | 0.4～7μm | ― | 2,400 | ― |
| 品名 | 和名 | 英語名 | 屈折率 （550nm近辺） |
蒸発方法 | 理論密度 （g/cm3） |
使用波長域 | 蒸発温度 （℃） |
融点 （℃） |
CAS NO. |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AlF3 | フッ化アルミニウム（別名：三フッ化アルミニウム） | Aluminium fluoride (AlF3) （別名：Aluminium trifluoride） |
1.38 | 抵抗加熱 | 2.88 | 0.2μm～ | ― | 1,294 | 7784-18-1 |
| CaF2 | フッ化カルシウム | Calcium fluoride（別名：Calcium difluoride） | 1.23～1.45 | 抵抗加熱 | 3.18 | 0.15～12μm | 1,280 | 1,360 | 7789-75-5 |
| CeF3 | フッ化セリウム（III） | Cerium trifluoride ［別名：Cerium fluoride (CeF3)］ |
1.63 | 抵抗加熱 | 5.8 | 0.3～5μｍ | 1,360 | 1,324 | 7758-88-5 |
| GdF3 | フッ化ガドリニウム（III）（別名：フッ化ガドリニウム） | Gadolinium trifluoride ［別名：Gadolinium fluoride (GdF3)］ |
1.59 | 抵抗加熱 | ― | 0.3μｍ～ | ― | 1,230 | 13765-26-9 |
| LaF3 | フッ化ランタン（III） （別名：フッ化ランタン） |
Lanthanum fluoride ［別名：Lanthanum fluoride (LaF3)］ |
1.59 | 抵抗加熱 | 5.9 | 0.22～14μm | 1,350 | 1,490 | 13709-38-1 |
| LiF | フッ化リチウム | Lithium fluoride (LiF) （別名：Lithium fluoride） |
1.3 | 抵抗加熱 | 2.64 | 0.11～7μm | 840 | 842 | 7789-24-4 |
| MgF2 | フッ化マグネシウム | Magnesium fluoride (MgF2)（別名：Magnesium fluoride） | 1.38～1.4 | 抵抗加熱 | 3.2 | 0.11～4μm | 1,270 | 1,260 | 7783-40-6 |
| NaF | フッ化ナトリウム | Sodium fluoride | 1.29～1.3 | 抵抗加熱 | 2.79 | 0.2μm～ | 998 | 998 | 7681-49-4 |
| NdF3 | フッ化ネオジミウム （別名：フッ化ネオジム） |
Neodymium trifluoride | 1.61 | 抵抗加熱 | 6.5 | 0.25μm～ | 1,410 | 1,410 | 13709-42-7 |
| YF3 | フッ化イットリウム（III）（別名：フッ化イットリウム） | Yttrium trifluoride ［別名：Yttrium fluoride (YF3)］ |
1.5 | EB抵抗加熱 | 5.07 | 0.2～14μm | 1,100 | 1,152 | 13709-49-4 |
| 品名 | 和名 | 英語名 | 屈折率 （550nm近辺） |
蒸発方法 | 理論密度 （g/cm3） |
使用波長域 | 蒸発温度 （℃） |
融点 （℃） |
CAS NO. |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZnS | 硫化亜鉛 | Zinc sulfide | 2.3～2.4 | EB抵抗加熱 | 4.1 | 0.4～14μm | 1,100 | 1,020 | 1314-98-3 |